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第522章 分辨率10μ

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    瓷飛廠是下定了決心,肖總遠赴京城,但高振東這邊的事情,還遠遠沒完。

     此時的他,正在拿着防工委發過來的另一位五爺——轟炸機的資料,細細的計算着、考慮着。

     他想撬動的可不隻是攻-5裝雷達這個事情。

     就在他算得入神的時候,門被敲響了。

     高振東起身開門,門口是易中海和五道口分來的師妹馬娟,馬娟性格雖然比較直,有些男子的英氣,但是心卻是很細的,正合适代表分廠的電子實驗室跟進一下光刻機的組裝事宜。

     “高師兄,好消息好消息!”馬娟不像伍升遠那麼一闆一眼,在單位也叫高師兄,高振東聽得還挺爽。

     “光刻機組裝好了?”她和易中海一起過來,除了這個不可能有别的。

     “嗯嗯嗯,裝好了,我們先試了試,各指标完全達标。

    ” “太好了,走,看看去。

    ”高振東把手上的東西一收,站起身就往光刻機試制車間走。

     易中海和馬娟跟在後面,馬娟笑道:“我們來的意思,就是想請你去主持一下最終的套刻精度試驗。

    ” 高振東連連點頭:“嗯,要試,要試。

    走!走!” 其他的指标,可以說易中海帶着大師傅們,在馬娟的配合下基本上都完成了,這個套刻精度,算是最終的綜合檢驗。

     走進光刻機試制車間,透過玻璃看向超淨室,展現在高振東面前的是一個像是化學試驗室裡通風試驗櫥的東西,或者說是像搞生物的帶生物防護的顯微裝置,别的都看不出幹啥的,就是那台顯微鏡賊顯眼。

     這台顯微鏡是用來人工對準和檢查用的,主要解決套刻時的對準問題。

    高振東在掩模上設計了對準标志,但是對準這個操作,在這台光刻機上是人工操作,那台顯微鏡就是用來幹這些事情的。

     按說這機器高振東來來去去,改來改去也見過不少次了,可以算是老夥計了,但是這次看見,還是心裡泛起了一陣激動。

     可算是有結果了,這東西在高振東心裡已經不是一台設備,而是一股氣。

     高振東前世,在網上對線多年,對手能噴的東西,從逮着啥就能噴啥,慢慢演變為能噴啥才說啥。

     最後幹脆成釘子戶了,就在那少數幾個領域蹲着不走了,任你東南西北風,我自巍然不動,嘴裡隻是說着“對呀對呀!……光刻機有幾種光源,你知道麼?”高振東看得愈不耐煩,拿着鍵盤走遠。

     走遠歸走遠,這幾樣東西的确是到他穿越為止,還沒完全拿下的,至少是高端的沒拿下,光刻機就是其中一種。

     他媽的,這輩子老子自己造一個玩玩,有幾種光源我不知道,但是我知道這台能用,而且還挺好! 高振東自己也換上防護服,和幾名試驗人員走進了超淨室。

     試驗人員早就把試驗準備做好了,走進來之後,打開了幾個開關,然後示意高振東:“高總,可以了。

    ” 高振東拿起專用夾具,從帶幹燥劑的矽片架裡,小心的夾起了一片單晶矽片,放到了工件台上,然後扳動開關,矽片被吸附固定。

     這些單晶矽片已經經過清洗、幹燥等處理,對光刻膠的附着力此時是最大的。

     然後高振東退後一步,将接下來的試驗交給了馬娟。

     要的就是一開始的那個爽感,至于具體操作,這些試驗人員比他手腳麻利多了,專業的事情還是交給專業的人去做。

     要說高振東這個光刻機原始,那是真的原始,固定好矽片後,馬娟開動開關,矽片開始旋轉。

     這是高振東的設計,一步到位,光刻膠的塗布,他直接上了旋塗法,前世我們最早的光刻機是用什麼方法塗布他不知道,但他知道綜合性能肯定是旋塗法最好。

     旋塗法在單晶矽片這種平坦的簡單表面塗布,平坦化能力強,容易控制厚度,塗層密度大,厚度均勻,不是沒有缺陷,但是可以接受和處理。

     旋轉很快達到了預設的轉速,在塗料确定的情況下,塗層厚度這些塗布結果參數與轉速高度相關,旋轉的同時,工件台也在對矽片進行加熱,這是為了進一步去除表面重新附着的水汽。

     這些小細節,都是高振東從前世帶過來的,不起眼,但是很重要。

     加熱時間滿足預設要求之後,旋轉也早已穩定,馬娟拿起了滴管。

     沒錯,就是化學試驗用的那種滴管,一點兒都不高大上,但是對于高振東這個光刻機來說夠用了。

    
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