們介紹:“這個機器工作波長355nm,光學調制傳遞函數在理想位置大概是0.63左右,光程差小于四分之一波長,數值孔徑0.029,放大倍率1。
”
這些高振東就是真的不懂了,除了355nm的工作波長和放大倍率1之外,其他的他都不清楚:“李工,這意味着什麼?”
李工不以為意,這位畢竟不是搞光學的:“這意味着他的分辨率為9μm。
”
9μm?高振東一下子就炸了,這個分辨率,搭配較小的形變,10μm線寬不是夢啊。
“李工,那圖像的形變情況怎麼樣?”
“很小,最大場曲在15μm範圍内,最大像散在7μm左右,總體畸變小于1ppm,像面不均勻性小于2%,我想對于你們的要求是完全沒有問題的。
”李工笑道,對此他也頗為自得。
這個機器,高振東要求的投影直徑是160mm左右,1ppm的畸變,意味着不到1μm,這對高振東的想法來說是完全足夠了。
高振東哈哈大笑:“李工,太謝謝你們了!辛苦辛苦!”
李工笑道:“能滿足你們的要求就好,今天時間也比較晚了,具體的其他事務,我們明天繼續怎麼樣?”
高振東在興奮中連連點頭:“好,今天就不麻煩同志們了,我們明天再繼續。
”
當天晚上,高振東輾轉反側,想了半個晚上。
第二天一早,高振東帶着人,早早的就來到試驗室門口,李工已經等在那裡了,一行人換好衣服進去。
高振東進去之後,李工開始張羅着叫人用标準掩膜,進行一遍完整的測試,畢竟他昨天說歸說,但是完整的測試流程是要走一遍給高振東他們看的,這算是甲方來驗收了。
試驗一邊進行,高振東一邊拿着整套光學系統的指标在看,他想看看能不能達到自己的想法。
看着看着,他皺了一下眉頭。
“李工,這套系統的透光率,是30%多?”高振東問道。
他沒好說“隻有30%多”這個話,有點兒不太好。
李工臉上露出了一點兒不好意思的神色:“嗯,355nm這個波長已經進入紫外波長了,透光率天生就比較差,加上材料的原因,就比較難看了。
”
紫外線波長是10nm到400nm,能量高,但是穿透性差,這個有點像輻射中的阿爾法射線,能量最高,但是一般常見的阿爾法射線一張打印紙都能擋得住。
這個透光率,還是因為355nm波長比較長,穿透性還沒惡化到底的原因。
這讓高振東感到有些難辦了,這樣一來,如果第二步需要微縮投影,加上微縮那一套光學系統,透光率會進一步惡化,雖然那一步是要聚焦的,但是哪怕是現在,這個透光率都已經到了危險的邊緣了,激光功率做大,不是大力出奇迹那麼簡單的,能保留越高的透光性越好。
高振東現在也不好說,畢竟勉強夠用,隻是問了一句:“現在的材料透光率多少?”
“400nm波長10mm透光率不小于99%,300nm波長10mm透光率不小于30%,這已經是增加了增透膜之後的效果了。
”
嚯,這可下降得夠快的,難怪數據這麼難看,355nm比300nm肯定是要好得多,但是架不住一套光學系統裡面有多個透鏡。
高振東點點頭,一邊看着試驗,一邊說出了自己的想法。
“李工,這個系統的分辨率,在第二步的時候能不能做到5μm乃至更好一點?”
他想搏一搏。
李工聽了他的話,搖了搖頭。
“很難,現在這個,已經是我們的極限了,别的不說,加工成本就極為高昂,再提高到你說的那個程度,我們現在這種人工加工再優選的方法就已經不一定實用,加工成本将極為高昂,完全沒法量産。
”
高振東沒有被吓住:“如果不計成本,隻要一套或者幾套呢?”
李工眼睛一亮,然後又暗淡下來:“那加工倒是有可能,但是再提高的話,我們的材料撐不住,依然沒有意義。
”
“材料?什麼材料?”高振東打破砂鍋問到底。
“光學玻璃,我們現在用的是冕牌光學玻璃,其參數如透光性、熱膨脹系數等不是太好,要麼影響光學調制傳遞函數這些關鍵指标,要麼影響其環境适應性,微小的溫度波動都可能造成性能的劣化,就現在這個,都是有嚴格的工作溫度範圍要求的。
”
又回到老問題上了,材料。
冕牌光學玻璃,不是一個品牌,而是光學玻璃的種類。